半导体是电子产品不可或缺的材料，在生产过程中会持续产生各种工艺废气，包括酸性、碱性、含氟废气及有毒废气等。废气治理作为半导体生产必要环节，能直接影响客户的产能利用率、产品良率，如未经处理直接排放会影响周围环境，同时对人体的危害也是极为严重。

因此，废气治理系统的安全问题更加不容忽视，对预防安全事故的安全设备更有着迫切的需求。

背景 

工业废气处理系统大多需要工厂巡检员例行检查来确保其运行状态稳定，但对于需要大量检查站点的工厂巡检员来说，频繁出入生产区域内是非常危险的。若当人员处于危险情况时不能确保信号的传输、及时按下急停，常常会产生难以估量的损失甚至造成人员的伤亡！所以，在工作区域需配置适合工艺气体特性的安全继电器至关重要！

客户需求 

● 当意外情况出现时，通过对监控急停按钮，避免和减少事故的扩大；

● 安全防护装置提高安全性能，更加可靠地运行设备；

● 安全性能等级高

解决方案 

此次项目采用了安全继电器，将产品应用于安全控制回路中，对半导体工艺废气设备的故障紧急处理，信号迅速传递给运动控制器并安全有效地停止设备运行，保护人员和设备的安全。

RESR 系列安全继电器危险失效概率小于亿分之一，安全系数高的同时能够确保危险气体泄漏时紧急控制，为用户提供最佳的急停防护。除此之外，双通道的设计提高了设备的安全等级和急停操作的可靠性，复位检测功能能够实时进行通道间短路监控，确保设备不会意外被启动。

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